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超細質の316Lステンレス鋼の短繊維
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x商品の詳細
| 長さ | 80-100um | パッキング | フレキシブル |
|---|---|---|---|
| アプリケーション | 半導体ガスフィルター/高純度ガスフィルター ソリューション | 材料 | ステンレス鋼 316L/Hastelloy C22/C59/ニッケル200 |
| 直径 | 1um/1.5um/2um | ||
| ハイライト | 1μm メタルフィルターメディア,超細質の316Lステンレス鋼の短繊維 |
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製品の説明
1μm メタルフィルターエレメントナノスケール)半導体プロセスガス浄化用
製品タイプ:超細材316L不?? 鋼短繊維
繊維直径: 1um/1.5um/2um可用
切断長さ: 80~100mm
原材料の化学組成 ((Wt%)
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エレメント |
C について |
そうだ |
ミニ
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ニ
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C.C.
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モー
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S
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P
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スタンダード
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≤0.03
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≤100
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≤200
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10~14
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16~18
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2~3
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≤0.03
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≤0.045
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価値
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0.028
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0.56
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0.5
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10.85
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16.97
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2.1
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0.003
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0.027
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半導体製造では,欠陥を防止し,高出力を確保するために,超高純度プロセスガスを維持することが重要です.m 金属フィルタ媒体は,微粒子の汚染物質を除去し,同時に空気中の分子汚染 (AMC) の制御に貢献することで,ガス浄化において重要な役割を果たします.高度なウエフラー製造に不可欠である.
主要 な 特徴 と 利点
高効率のフィルタリング (1μm保持)
微小粒子を捕捉し,光立体,エッチング,堆積処理で欠陥を引き起こす可能性があります.
表面汚染のリスクを軽減し 生産性を向上させます
化学 的 に 惰性 と 腐食 に 耐える
高度な純度から作るステンレス鋼 (316L),ニッケル,または合金攻撃的なガス (例えばHF,HCl,NH3) との互換性について
排気抵抗性があり 汚染を防ぐことができます
AMC制御能力
メタルフィルターには表面処理やコーティング(例えば,消化,電解) 揮発性有機物や酸の吸収/脱吸収を最小限に抑えるため.
会うのを助けるSEMI F21 AMCクラス1EUVリトグラフィーのような敏感なプロセスに対する要求事項です
高温 と 圧力 に 耐える
厳しい条件下で安定した性能 (一部の合金では500°C以上).
適している心血管病,拡散,イオン植入ガスパイプ
長期使用期間と清掃可能性
洗浄後再利用可能 (超音波,化学的,熱的方法),所有コストを削減する.
エネルギー効率の良いガス流量のための低圧落下設計
半導体製造における応用
超高純度 (UHP) のガス供給(N2,Ar,H2,O2など)
エッチ&堆積プロセス(CVD,PVD,ALD)
フォトリトグラフィー(AMCに敏感なEUV/DUV環境)
散装ガスと使用地点 (PoU) のフィルタリング
なぜ 代替 方法 に は 金属 の フィルター が 値する の でしょ う か
優れた耐久性ポリマーフィルター (粒子を分解して放出する) と対照的に
繊維の流出がない伝統的なHEPA/ULPAフィルターとは違います
より良いAMC緩和標準の粒子フィルターと比較すると
準拠と基準
SEMI F20(粒子制御)
SEMI F21(AMC分類)
ISO 14644-1(クリーンルームの基準)
結論
1μm メタルフィルターメディア半導体ガス浄化のための強力な溶液で,粒子の過濾,AMC制御,化学抵抗先進的なウエファー製造の厳格な要求を満たすため
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